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微型气体质量流量计

简要描述：微型气体质量流量计采用热扩散恒温差原理，专为超微流量、微量气体、微小管路精准计量研发，属于小口径微流量专用型。采用 MEMS 高精度微传感芯片，直接测量气体质量流量，无需温压补偿，结构超紧凑、响应快、灵敏度高，可精准捕捉微量供气、微小泄漏、实验室配比、设备微量工艺气体等工况，广泛用于半导体、实验室、医疗、新能源、精密设备配套、气体配比控制等场景。

所属分类：气体流量计

更新时间：2026-05-15

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微型气体质量流量计｜多钦仪表（上海）有限公司选型推荐（微小流量、小口径、热式原理、实验室 / 精密供气专用）

一、产品概述

二、核心优势

1. 超微流量精准测量，无测量盲区

   可测极低流速微小气体，解决传统流量计小流量测不到、精度差问题；量程比可达 100:1，微量‑小流量全覆盖。

2. 直测质量流量，免温压补偿

   直接输出标况质量流量 / 标况体积流量，不受温度、压力波动影响，数据稳定，无需额外补偿仪表。

3. 微型化紧凑结构，适配狭小空间

   DN6‑DN15 微口径，螺纹迷你接口，体积小巧，适合机柜内置、实验室管路、精密设备集成、狭小安装环境。

4. 超低压力损失，无机械磨损

   无阻流件、无叶轮轴承，几乎无压损；抗振动、抗粉尘，长期稳定，后期免维护。

5. 快速响应，智能信号输出

   响应时间＜0.3s，实时捕捉流量变化；标配 4‑20mA、RS485‑Modbus‑RTU，可选脉冲输出，对接 PLC、工控系统。

6. 防腐防爆可选，多工况适配

   接液材质 316L 不锈钢，耐弱腐蚀；本安防爆 Ex ia IIC T6 可选，适配易燃易爆微量气体场景。

三、详细技术参数

• 测量原理：热扩散恒温差法

• 适用口径：DN6、DN8、DN10、DN15

• 测量精度：±1.0%～±1.5% FS，重复性≤±0.5%

• 量程比：50:1～100:1

• 流速范围：0.005～60Nm/s（微流量专用区间）

• 介质温度：‑20℃～80℃

• 工作压力：0～1.6MPa（高压可定制）

• 连接方式：G1/4、G3/8、M8、M10 微型螺纹

• 输出信号：4‑20mA、RS485 Modbus‑RTU、脉冲

• 供电电源：DC24V

• 防护等级：IP65

• 防爆等级：Ex ia IIC T6（可选）

• 接液材质：316L 不锈钢

• 适用介质：空气、氮气、氧气、氩气、氢气、氦气、二氧化碳、微量烷烃 / 烯烃、惰性气体、工艺微量气体

四、适用介质 & 应用行业

适用介质

应用行业

• 科研实验室：高校、检测机构微量气体配比、供气监测

• 精密电子：半导体、芯片行业微量工艺气体计量

• 医疗行业：医用氧气、无菌微量气体流量控制

• 新能源：氢能微量输送、电池行业微量气体配比

• 工业自动化：精密设备微量供气、焊接保护气微量控制

• 环保检测：废气微量采样、气体微小泄漏监测

五、安装与使用优势

1. 微型螺纹快装，安装便捷，可任意角度安装，直管段要求极低；

2. 机身小巧，适配设备内置、狭小管路、实验室台面安装；

3. 高清微型数显，瞬时 / 累积流量实时显示，零点一键校准；

4. 抗干扰强，适合长期连续微小流量稳定监测。

六、售后保障

• 质保 2 年，非人为损坏免费维修更换；

• 支持定制防爆、高压、特殊量程、专用接口；

• 量大免费上门调试，提供一对一选型方案。