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微型管道式热式气体质量流量计

简要描述：微型管道式热式气体质量流量计，采用高精度 MEMS 微机电热式传感芯片，一体式全不锈钢结构，专为微小流量、小管径工业气体精准计量研发，直接测量气体质量流量，无需温压补偿。

所属分类：微型气体质量流量计

更新时间：2026-05-20

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微型管道式热式气体质量流量计（DN6‑DN25） 多钦仪表（上海）有限公司选型推荐

产品概述

本款微型管道式热式气体质量流量计，采用高精度 MEMS 微机电热式传感芯片，一体式全不锈钢结构，专为微小流量、小管径工业气体精准计量研发，直接测量气体质量流量，无需温压补偿。

适配氮气、氧气、氩气、压缩空气、氢气、二氧化碳、天然气等洁净气体，广泛用于实验室、精密仪器、半导体、焊接保护气、化工微量供气、反应釜微量配料、泄漏检测等场景，体积紧凑、安装便捷，实现气体流量在线监测、精准定量加料、远程数据传输。

核心功能特点

1. MEMS 高精度传感，微小流量精准测量

   采用 MEMS 热扩散恒温差原理，直接测量质量流量，不受温度、压力波动影响；量程比最高 100:1，可测0.01L/min 超微小流量，超低流速下计量稳定，精度 ±1.5% FS。

2. 一体式微型结构，安装空间极小

   整机紧凑管道式设计，双侧外螺纹连接（G1/4、G1/2），适配 DN6‑DN25 微小管路；无直管段要求，可垂直、水平任意方向安装，适配狭小管道工况。

3. 全 304 不锈钢材质，耐用抗腐蚀

   壳体、接液管路均为304 不锈钢，耐氧化、抗弱腐蚀，适配干燥工业气体；耐高温设计，可耐受‑20℃~80℃介质温度，长期连续运行稳定。

4. 就地数显 + 远传输出，智能管控

   自带高清 LCD 液晶数显表头，实时显示瞬时流量、累计流量、气体温度；标配 RS485（Modbus‑RTU）、4‑20mA 模拟量输出，可对接 PLC、工控系统，实现远程监控、自动定量控制。

5. 操作简单，防护可靠

   四按键简易操作，支持参数设置、流量清零、单位切换；整机防护等级 IP65，可定制防爆型，适配化工易燃易爆车间。

6. 免维护设计，使用寿命长

   无机械可动部件，无磨损、无卡堵，抗震动干扰，长期运行几乎免维护，适合长期不间断微量供气监测。

系统核心配置

• 传感单元：MEMS 高精度热式质量流量传感芯片

• 显示单元：一体式就地 LCD 数显表头

• 通讯输出：RS485（Modbus‑RTU）、4‑20mA

• 连接方式：外螺纹 G1/4、G1/2（DN6‑DN25）

• 可选配置：防爆外壳、定量控制模块、多气体标定、高温定制款

主要技术参数

• 适用介质：氮气、氧气、氩气、压缩空气、氢气、二氧化碳、天然气等洁净干燥气体

• 测量精度：±1.5% FS

• 流量范围：0.01‑100L/min（按需定制）

• 公称通径：DN6、DN8、DN10、DN15、DN20、DN25

• 工作压力：≤1.6MPa

• 介质温度：‑20℃~80℃（高温可定制）

• 供电方式：24VDC

• 输出信号：4‑20mA、RS485（Modbus‑RTU）

• 连接螺纹：G1/4、G1/2

• 防护等级：IP65，可定制 Ex 防爆等级

应用行业

实验室科研、半导体制造、精密焊接、

化工微量供气、医疗设备、燃烧设备、

环保检测、自动化气体配料、新能源行业、反应釜微量供气

多钦仪表（上海）有限公司供应的所有产品：

质保 2 年，提供技术选型、方案设计、上门安装调试；

量大可免费上门勘测、调试。

价格为参考价，根据工位数量、防爆防腐等级、流量规格选型报价，参数可灵活定制。