实验室微小气体质量流量计

实验室微小气体质量流量计（高精密・本安防爆）

一、核心优势（实验室场景专属）

• ✅ 高精密测量：热式恒温差原理，±1.0% FS 精度、≤±0.2% 重复性，微小流量稳定不漂移。

• ✅ 微量适配：DN8/DN10/DN15 小管径，量程低至sccm 级，精准捕捉极微流量变化。

• ✅ 本安防爆：Ex ia 本安防爆认证，适配化工防爆区、新能源氢能实验等危险场景。

• ✅ 免温压补偿：直接测质量流量，无需温度压力补偿，简化实验系统搭建。

• ✅ 快速响应：响应时间 **≤100ms**，实时匹配动态配比、瞬态流量监测需求。

• ✅ 多气兼容：适配空气、N₂、O₂、H₂、CO₂、Ar 等 20 + 种洁净气体，一机多用。

• ✅ 小巧易装：G1/4、G1/2 螺纹接口，体积紧凑，适配实验台狭小空间。

• ✅ 信号丰富：标配 4-20mA、RS485（Modbus-RTU），可选脉冲，无缝对接 PLC / 工控系统。

二、技术参数（实验室标准配置）

• 测量原理：热扩散恒温差法（MEMS 传感芯片）

• 适用口径：DN8（G1/4）、DN10（G3/8）、DN15（G1/2）

• 流量范围：

• DN8：0–50 SL/min（空气），微小流量专用

• DN10：0–100 SL/min（空气），常规微量配比

• DN15：0–300 SL/min（空气），中微量气路

• 测量精度：±1.0% FS（校准后可达 ±0.5% FS）

• 重复性：≤±0.2% FS

• 量程比：1:100（宽量程，覆盖多工况）

• 介质温度：-20℃～+80℃（可定制 - 40℃～+120℃）

• 工作压力：0–1.6MPa（高压可定制 4.0MPa）

• 防爆等级：Ex ia IIC T4 Ga（本安防爆）

• 防护等级：IP65（防尘防水，适配实验室潮湿环境）

• 供电电源：DC24V±10%

• 输出信号：4-20mA、RS485 Modbus-RTU、脉冲（可选）

• 接液材质：304/316L 不锈钢（耐腐蚀，适配高纯气体）

三、实验室微小气体质量流量计典型应用场景

• 实验室气体配比：氢气、氮气、氧气等多元气体精准混合，满足催化、反应动力学实验。

• 半导体工艺气路：晶圆制程保护气、吹扫气微量监测，保障工艺稳定性。

• 新能源氢能实验：氢燃料电池、制氢系统微小流量计量，防爆安全适配。

• 分析仪器配套：气相色谱、质谱仪载气 / 助燃气流量控制，数据精准可追溯。

• 化工防爆区实验：易燃易爆气体（如甲烷、乙炔）微量测量，本安防爆保障安全。

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四、安装与维护

• 安装方向：任意角度安装（建议水平，减少重力影响）。

• 直管段要求：前≥5DN、后≥3DN（微小流量可放宽，适配实验台紧凑布局）。

• 维护周期：6–12 个月（定期吹扫传感器，防止粉尘污染）。

• 零点校准：一键自动校准，无需拆机，适配长期实验稳定性需求。

五、产品选型（实验室常用型号）

• DN8（G1/4）：0–50 SL/min，超微量配比、高纯气体实验

• DN10（G3/8）：0–100 SL/min，常规实验室多气混合

• DN15（G1/2）：0–300 SL/min，中微量气路、小型反应釜供气