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微流量热式气体质量流量计

简要描述：微流量热式气体质量流量计采用热扩散恒温差测量原理，专为微小流量、微量气体、小口径管路研发，搭载高精度 MEMS 微传感芯片，直接测量气体质量流量，无需温度压力补偿。

所属分类：热式气体质量流量计

更新时间：2026-05-15

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微流量热式气体质量流量计｜多钦仪表（上海）有限公司选型报价（适配微小气体、小口径微量计量，可直接上架）

一、产品概述

微流量热式气体质量流量计采用热扩散恒温差测量原理，专为微小流量、微量气体、小口径管路研发，搭载高精度 MEMS 微传感芯片，直接测量气体质量流量，无需温度压力补偿。

可准确捕捉极低流速、微量气体、微小泄漏、微量供气等工况，解决传统流量计低流量盲区、精度差、响应慢等问题。结构紧凑、灵敏度高、无机械磨损、压损极低，广泛用于实验室、精密设备、气体配比、微量工艺供气、科研检测、医疗供气等场景。

二、核心优势

1. 超微流量精准测量，无测量盲区

   可测极低流速，适配微量气体、小流量波动、微小泄漏监测；量程比宽，微小流量到常规流量全覆盖，计量稳定精准。

2. 直测质量流量，免温压补偿

   直接输出标况质量流量、标况体积流量，省去温压补偿仪表，不受压力、温度波动影响，数据真实可靠。

3. 微型化结构，适配狭小空间

   一体式紧凑设计，螺纹连接，适配 DN6‑DN25 微口径管路，适合机柜集成、实验室管路、设备内置、狭小安装环境。

4. 超低压力损失，免维护长寿命

   无叶轮、轴承等活动部件，无阻流件，几乎无压损；抗粉尘、抗振动，长期使用稳定，后期维护成本低。

5. 快速响应，智能信号输出

   响应速度快，实时捕捉流量变化；标配 4‑20mA、RS485（Modbus‑RTU），可选脉冲输出，可对接 PLC、DCS、工控系统。

6. 防腐防爆，多工况适配

   接液材质可选 304/316L 不锈钢；支持本安防爆，耐温耐压性能优异，适配洁净气体、弱腐蚀性工艺气体。

三、详细技术参数

• 测量原理：热扩散恒温差法

• 适用口径：DN6、DN8、DN10、DN15、DN20、DN25

• 测量精度：±1.0%～±1.5% FS，重复性≤±0.5%

• 量程比：50:1～100:1

• 流速范围：0.005～80Nm/s（微流量专用区间）

• 介质温度：‑20℃～80℃（可定制‑40℃～120℃）

• 工作压力：0～1.6MPa（高压可定制 4.0MPa）

• 连接方式：螺纹连接 G1/4、G3/8、G1/2

• 输出信号：4‑20mA、RS485 Modbus‑RTU、脉冲

• 供电电源：DC24V

• 防护等级：IP65

• 防爆等级：Ex ia IIC T6（可选）

• 接液材质：304 不锈钢、316L 不锈钢

• 响应时间：＜0.3s

• 适用介质：空气、氮气、氧气、氩气、氢气、氦气、二氧化碳、压缩空气、惰性气体、工艺混合气体

四、适用介质 & 应用行业

适用介质

应用行业

• 科研实验室：高校、检测机构微量气体配比、供气监测

• 精密电子：半导体、芯片行业微量工艺气体计量

• 医疗制药：医用氧气、无菌微量气体流量控制

• 工业自动化：焊接保护气、燃烧微量供气、设备配套

• 环保检测：废气微量采样、气体泄漏监测、尾气微量计量

• 新能源行业：氢能微量输送、气体配比控制

五、安装与使用优势

1. 螺纹快装，安装便捷，可任意角度安装，直管段要求极低；

2. 微型机身，适配狭小管路、设备内置安装；

3. 高清数显，瞬时流量、累积流量实时显示，零点一键校准；

4. 抗干扰能力强，适应复杂微小流量工况。

六、售后保障

• 质保 2 年，非人为损坏免费维修更换；

• 支持定制防爆、高温、高压、特殊材质、定制量程；

• 量大可免费上门调试、提供选型方案；

• 一对一技术指导，适配微流量专属计量需求。