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微流量气体流量计

简要描述：微流量气体流量计，推荐热式微型气体质量流量计，针对mL/min～L/min 级微小气体、微量氮气、吹扫气、保护气、实验室精密供气，直接测质量流量、无需温压补偿、响应快、可防爆、带 RS485 远传、适配定量控制。

所属分类：微型气体质量流量计

更新时间：2026-05-19

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微流量气体流量计｜多钦仪表（上海）有限公司

微流量气体流量计推荐热式微型气体质量流量计，针对mL/min～L/min 级微小气体、微量氮气、吹扫气、保护气、实验室精密供气，直接测质量流量、无需温压补偿、响应快、可防爆、带 RS485 远传、适配定量控制。

一、核心技术参数

• 测量原理：热式质量流量原理

• 流量量程：5mL/min～2000L/min（微流量全覆盖）

• 精度：±1.0%FS，重复性 ±0.2%

• 连接接口：M10×1、G1/8、G1/4、卡套式，适配 DN3/DN6/DN8 微型管路

• 测量介质：氮气、压缩空气、氧气、氩气、氢气、天然气、惰性气体、洁净工艺气

• 工作压力：0–1.6MPa；温度：‑20℃～80℃

• 输出信号：4‑20mA、RS485‑Modbus‑RTU、脉冲、开关量报警

• 防爆等级：本安型 Ex‑iaⅡCT4（防爆车间可用）

• 供电：DC24V；防护：IP54

• 安装：任意方向安装，无直管段要求，零压损

二、主流型号选型

1. 标准微流量型：5–500mL/min，实验室、微量吹扫气

2. 工业微型型：0.5–200L/min，反应釜保护气、设备微量供气

3. 防腐防爆型：哈氏合金探头，适配轻微腐蚀性气体，防爆区专用

三、核心优势

1. 真正微流量测量：可测毫升级极小流量，低流速依然精准稳定

2. 质量流量直读，不受压力、温度波动影响，无需额外补偿装置

3. 体积小巧、响应速度快，适配狭小管路、设备内置、精密工位

4. 数字通讯稳定，可对接 PLC、触摸屏、上位机，实现自动定量控制

5. 本安防爆设计，适配化工、医药、危化车间微量气体管控

四、典型应用

• 反应釜微量氮气保护、惰性气体吹扫

• 实验室高纯氮气、氧气精密供气配比

• 半导体、精细化工微量工艺气计量

• 防爆车间微量气体定量投加、泄漏监测

五、选型举例